掃描分辨為1280*1024像素,白光將傳統(tǒng)光學分辨率提高了1.4倍,Z軸精度:10 nm,X、Y軸精度為160 nm,高度測量范圍:最大可達15 mm,最小0.02 μm,最大樣品高度63 mm。